研究目的
研究利用Al2O3层钝化硅表面的可能性，该方案具有更低的热预算要求，可用于体寿命研究且不改变硅基体特性。
研究成果
研究表明，将th-ALD Al2O3层或th-ALD/PA-ALD叠层的低温后沉积退火与电晕充电相结合，能有效实现体寿命研究所需的优异表面钝化效果，即使在低热预算条件下也能获得稳定的Seff值。
研究不足
研究表明，虽然低温退火结合电晕充电可实现优异的表面钝化效果，但该工艺需严格控制退火时间和温度。紫外线照射能改善表面钝化效果，但其作用程度不及电晕充电。
首页
论文列表
AIP会议录 [美国物理联合会出版社第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 摩洛哥非斯（2019年3月25-27日）] 第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 基于电晕充电Al2O3的体寿命研究用低温硅表面钝化技术
中文（中国）
▾
AIP会议录 [美国物理联合会出版社第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 摩洛哥非斯（2019年3月25-27日）] 第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 基于电晕充电Al2O3的体寿命研究用低温硅表面钝化技术
DOI：10.1063/1.5123860
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
对晶体硅晶圆进行体寿命研究（例如研究光致降解与再生行为）时，需要采用不改变硅体特性的低温表面钝化方案（如避免氢化处理）。氧化铝（Al2O3）能提供优异稳定的表面钝化效果，但为实现最佳钝化通常需约400°C的退火步骤——该温度被发现会改变部分硅材料的体特性。因此本文研究了采用低热预算Al2O3层进行硅表面钝化的可能性。我们证明通过原子层沉积的Al2O3，在不超过250°C条件下可实现优异的硅表面钝化，实测有效表面复合速度Seff低至1.3 cm/s。通过结合250°C的沉积后退火步骤与Al2O3表面负电晕电荷沉积，我们实现了这种卓越的低温钝化效果。对于仅退火至220°C的样品，在沉积负电晕电荷后仍能获得低至2 cm/s的Seff值。研究表明，经电晕电荷处理的低温Al2O3钝化层在储存218天后，Seff值仅从1.6 cm/s轻微劣化至5 cm/s。即使不进行任何沉积后退火仅施加负电晕电荷，也能获得稳定的15 cm/s Seff值。作为电晕充电的替代方案，短时强紫外光（λ=395 nm）照射也能显著提升低温退火Al2O3钝化硅样品的表面钝化质量，但该方法的Seff最佳值限于6.6 cm/s——这对体寿命研究仍具实用价值。
作者：
Boris A. Veith-Wolf，Jan Schmidt
AI智能分析
纠错
研究概述
实验方案
设备清单
SCI高频之选
查看全部>
-
智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。获取实验方案
-
智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能?？榛璧缱酉晕⒕?，适用于材料科学、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。获取实验方案 -
智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。获取实验方案 -
型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex
智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。获取实验方案
立即咨询
加载中....
论文纠错
您正在对论文“AIP会议录 [美国物理联合会出版社第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 摩洛哥非斯（2019年3月25-27日）] 第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 基于电晕充电Al2O3的体寿命研究用低温硅表面钝化技术”进行纠错
纠错内容
联系方式（选填）
设备询价
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期
产品预约
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期