研究目的
分析飞秒激光加工CVD金刚石的相互作用机制，揭示石墨化机理。
研究成果
确定了飞秒激光作用下金刚石的烧蚀阈值。利用XPS表征了金刚石经飞秒激光烧蚀前后元素的变化，并验证了碳原子从sp3向sp2形态的转变。碳原子与氧原子的结合使得两种元素的烧蚀含量发生显著变化。这些变化揭示了金刚石辐照后石墨化相变的机制。
研究不足
论文中未明确提及实验的技术和应用限制，以及潜在的优化领域。
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飞秒激光微加工化学气相沉积金刚石的机理研究
DOI：10.1080/00150193.2019.1592569
期刊：Ferroelectrics
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
金刚石在硬度、热导率和化学稳定性方面是种优异材料。为拓展其应用领域，基于激光微加工技术分析了飞秒激光加工化学气相沉积金刚石的相互作用机制。通过阈值理论计算了化学气相沉积金刚石的烧蚀阈值，同时金刚石发生了石墨化相变。采用X射线能谱分析表征了飞秒激光烧蚀前后金刚石的内部元素，分析了元素含量及键合形式的变化，揭示了相关石墨化机理。
作者：
Yu Sun，Jian Dou，Muxun Xu，Jianlei Cui，Xuesong Mei，Wenjun Wang，Meng Gao
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