研究目的
利用超快脉冲激光系统通过双光子吸收过程研究集成电路和器件中的单粒子效应(SEEs),并表征基于激光的SEE测绘测试系统的关键因素。
研究成果
TPA激光设施为单粒子效应测试提供了一种可靠方法,能够将系统控制在最佳工作状态。SRAM单元的敏感度图与仿真结果高度吻合,且实现了约500纳米的测绘分辨率。未来工作旨在缩小光斑尺寸并改进束流扫描??榈目占浞直媛?,以实现更精确的测量。
研究不足
激光单粒子翻转敏感度映射技术的分辨率约为0.5微米,这表明该技术在深亚微米器件空间分辨率方面存在局限性。
1:实验设计与方法选择:
采用超快脉冲激光系统通过双光子吸收过程进行单粒子效应测试。
2:样品选择与数据来源:
使用65纳米技术节点的静态随机存取存储器(SRAM)单元。
3:实验设备与材料清单:
包括种子激光器、泵浦激光器、放大器、光学参量放大器9800(OPA 9800)、功率计、普克尔斯盒和光束扫描???。
4:0)、功率计、普克尔斯盒和光束扫描???。 实验流程与操作步骤:
4. 实验流程与操作步骤:重点表征输出功率、光斑尺寸、普克尔斯盒开启窗口及注入激光能量校准等关键参数。
5:数据分析方法:
将SRAM单元的敏感度图谱与商用仿真工具(TFIT)生成的图谱进行对比。
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Optical Parametric Amplifier 9800
OPA 9800
Coherent, Inc.
Converts the wavelength in the range from 1200 nm to 1600 nm
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Verdi-pumped ultrafast mode-locked Vitesse laser
Coherent, Inc.
Seeding laser with Ti:Sapphire as gain medium
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Nd:Vanadate continuous Verdi laser
Coherent, Inc.
Pump laser
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RegA 9000
Coherent, Inc.
Amplifier to combine the seeding laser and pump laser together
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FieldMaxII
Coherent
Power meter
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PM100USB
ThorLab Inc.
Power meter
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