研究目的
研究基于碳化钨（WB）的宽带超材料吸收器与普通金超材料吸收器在飞秒激光照射下的损伤特性及光学性能对比。
研究成果
基于钨的超材料吸收器在飞秒激光照射下展现出比金更优异的宽带吸收性能和更高的损伤阈值，使其适用于太阳能电池等高功率应用场景。
研究不足
该研究受限于制造误差及所用材料的固有特性，例如钨铋（WB）和金的熔点与粘附强度。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用有限时域差分（FDTD）Lumerical软件进行数值分析，并对WB和Au超材料吸波器进行实验表征。
2：样品选择与数据来源：
在特定尺寸和材料的硅衬底上制备了WB和Au超材料吸波器。
3：实验设备与材料清单：
射频磁控溅射系统、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统、聚焦离子束（FIB）铣削系统、电子束光刻系统、光谱椭偏仪、飞秒激光器。
4：实验流程与操作步骤：
WB和Au吸波器的制备、光学性能测量及飞秒激光辐照下的损伤分析。
5：数据分析方法：
比较WB和Au吸波器的吸收光谱及损伤阈值。
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