研究目的
研究在p型工业硅太阳能电池中采用氧化硅上多晶硅(POLO)结与钝化发射极和背面电池(PERC)基准相比的益处。
研究成果
研究表明,采用双极性POLO结(POLO2)相比PERC技术能显著提升效率,并提出了精简的制备工艺流程。但要充分发挥POLO2电池的潜力,仍需解决p+多晶硅的对准公差和金属化工艺等挑战。
研究不足
p+多晶硅的对准公差和丝网印刷金属化是尚未解决的技术难题,这些问题导致POLO2电池的效率低于理想状态。
1:实验设计与方法选择:
本研究系统评估了POLO结的效率潜力、精简制造工艺流程及主要功能模块的实验结果。
2:样品选择与数据来源:
采用p型工业硅太阳能电池作为样品。
3:实验设备与材料清单:
包括LPCVD炉、皮秒激光器、用于蚀刻的KOH溶液及丝网印刷设备。
4:实验步骤与操作流程:
涉及多晶硅沉积、激光氧化、蚀刻、制绒及金属化工艺。
5:数据分析方法:
采用数值器件模拟与协同效率增益分析(SEGA)进行数据处理。
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LPCVD furnace
E2000
Centrotherm
Deposition of in situ doped poly‐Si layers
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Picosecond laser
Local laser oxidation and ablation
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KOH
Etching of poly‐Si
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Metallization of solar cells
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