研究目的
在悬浮玻璃碳丝上展示WO3-x的局部化学气相沉积，用于催化和气体传感应用。
研究成果
该研究成功展示了一种在悬浮玻璃碳丝上局部化学气相沉积WO3-x的新方法，为创建具有催化和气体传感应用的碳-过渡金属氧化物结构提供了可扩展的平台。该方法通过调节电流可实现涂层厚度和长度的精确控制。
研究不足
沉积纤维的直径无法精确预知，该工艺需要精确控制电流和温度以实现所需的涂层厚度和均匀性。
1：实验设计与方法选择：
该过程包括对SU-8支架进行光刻图案化、近场静电纺丝制备SU-8纤维，以及通过热解形成整体式碳结构。沉积温度由焦耳热产生。
2：样品选择与数据来源：
样品制备流程为在具有热氧化层的硅晶圆上光刻图案化SU-8，随后进行近场静电纺丝和热解处理。
3：实验设备与材料清单：
包含分别用于支架和纤维的SU-8 2025与SU-8 2002材料、碳化所需的氮气环境，以及用于LCVD工艺的定制玻璃反应器。
4：实验步骤与操作流程：
碳化过程涉及氮气氛围下的梯度升温与恒温保持。LCVD通过使电流通过反应器内含前驱体溶液的金属丝实现。
5：数据分析方法：
通过测量电压-电流特性曲线监测涂层演变过程，采用扫描电镜（SEM）和透射电镜（TEM）进行表征分析。
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