研究目的
研究以非接触方式集成自由空间光学元件的新概念,无需调节器即可实现高精度永久对准,重点关注微镜作为自适应光学系统中最基本的组件之一。
研究成果
该研究展示了一种利用飞秒激光在熔融石英中诱导结构改性来实现微镜高精度非接触式对准的方法。此方法能以永久性方式提供前所未有的角度定位精度,适用于进行非常精细的重新定位,且不会产生高应力风险。
研究不足
该研究的局限性在于曝光过程耗时较长,且对准过程中可能存在寄生运动。此外,目前该方法仅在两种不同样本中得到验证,而非单一标本。
1:实验设计与方法选择:
本研究采用飞秒激光加工技术在单一光学透明材料内部实现三维整体制造,并以纳米级分辨率远程形变基底。
2:样品选择与数据来源:
制备了熔融石英材质的整体式微镜,通过使器件部分区域暴露于低能量飞秒脉冲来调节其取向。
3:实验设备与材料清单:
飞秒激光系统、熔融石英基底、用于蚀刻的氢氟酸以及镜面镀金层。
4:实验步骤与操作流程:
通过在石英基底中用飞秒激光绘制轮廓,随后进行化学蚀刻和镀金完成器件制备。通过使器件部分区域暴露于飞秒脉冲来调整微镜取向。
5:数据分析方法:
采用位置传感装置的三点测量法测定微镜的角旋转量。
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femtosecond laser system
Yb-fiber
Amplitude Systèmes
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