研究目的
研究采用蜿蜒线电极和终端电阻的硅光子晶体调制器在高速光互连中的工作速度与性能。
研究成果
已证实采用相移器长度仅200微米的紧凑型硅光子晶体调制器可实现64 Gbps运行，有助于开发与CMOS兼容、尺寸紧凑、低电压、低功耗、宽工作频谱且耐温性良好的调制器，适用于400 Gbps光互连。
研究不足
该研究在电极几何形状与阻抗优化以及驱动信号质量方面仍有改进空间。包括电极占位面积在内的整个设备尺寸还有进一步缩小的余地。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用硅光子晶体波导（PCW）和晶格偏移PCW（LSPCW）慢光调制器，具有短相移器长度和宽工作频谱特性。通过蛇形线电极和终端电阻补偿慢光与射频信号间的相位失配。
2：样品选择与数据来源：
器件采用200毫米绝缘体上硅晶圆，通过KrF准分子激光曝光和移相掩模的CMOS工艺制造。
3：实验设备与材料清单：
包含2:1多路复用器（MUX，SHF 601 A）、PPG（安立MP-1800A）、SHF 810放大器及SHF EQ25 A-3 dB均衡器。
4：实验流程与操作步骤：
针对不同终端电阻和延迟线长度测试频率响应特性，在50/56/64 Gbps速率下开展调制实验。
5：数据分析方法：
测量不同终端电阻和延迟线长度下的截止频率f3dB，以此评估相位匹配效果。
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