研究目的
研究铌酸锂（一种脆性难加工材料）的精密切割技术，采用飞秒激光切割以提高切割质量和重复性，同时减少热效应和崩边现象。
研究成果
通过优化飞秒激光切割参数并采用两种优化方法（空气冷却和水冷），该研究成功实现了高质量且可重复的铌酸锂切割。水冷方法效果更优，达到了铌酸锂切割的产品要求。
研究不足
该研究承认，尽管优化了工艺参数并采用了更短的波长，但在飞秒激光切割铌酸锂（LiNbO3）时，降低热效应和崩边现象仍是一项挑战。
铌酸锂激光切割研究
DOI：10.1016/j.ijleo.2019.163508
期刊：Optik
出版年份：2020
更新时间：2025-09-19 17:13:59
摘要：
本研究针对属于难加工脆性材料的铌酸锂，开展了精密切割技术研究。采用飞秒激光探索波长对切割质量的影响，并通过光学显微镜检测样品表面及截面形貌。随后设计了两种高质、高重复性的铌酸锂优化切割方案，显著降低了热效应和崩边现象。最终实现了铌酸锂晶圆的完整贯穿切割。
作者：
Wenyan Gao，Mingwei Lei，Benhai Li，Guang Li，Kai Li，Qiaoling Feng，Junlong Wang
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