研究目的
理论上设计并实验验证一种基于850纳米波长直型长程表面等离子体激元（LRSPP）波导的体折射率传感器，旨在应用于便携式、低成本折射仪。
研究成果
该研究成功展示了一种基于直型长程表面等离子体激元（LRSPP）波导的体折射率传感器，其灵敏度达到196 dB/RIU/mm。所制备的波导验证了设计方案的可行性，显示出在便携式、低成本折射仪应用中的潜力。
研究不足
该研究的局限性在于输入端波导端面不理想，导致耦合损耗过大。通过改进制造工艺（如切割和抛光工艺），可以降低耦合损耗。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用有限差分本征模法（FDE）优化850纳米波长下金条波导的几何参数。
2：样品选择与数据来源：
该波导传感器由嵌入SU-8聚合物的金条构成，传感溶液的折射率范围为1.562至1.586。
3：562至586。 实验设备与材料清单：
3. 实验设备与材料清单：关键材料包括金条、SU-8聚合物和硅基底；设备包含用于金沉积的热蒸发仪及用于表征的原子力显微镜（AFM）。
4：实验流程与操作步骤：
制备过程采用双层剥离工艺，随后通过光学传输特性测试验证设计有效性。
5：数据分析方法：
基于传播损耗测量和模式功率分布分析计算传感器灵敏度。
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SU-8 2005
2005
Kayaku Advanced Materials Inc.
Used as the cladding material for the LRSPP waveguide sensor.
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LOR-1A
1A
Kayaku Advanced Materials Inc.
Used in the double-layer lift-off process for fabricating the LRSPP waveguide sensor.
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S1805
1805
Shipley Corp.
Photoresist used in the fabrication process of the LRSPP waveguide sensor.
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MF-321
321
Shipley Corp.
Developer used in the fabrication process of the LRSPP waveguide sensor.
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PG Remover
Kayaku Advanced Materials Inc.
Used for lift-off in the fabrication process of the LRSPP waveguide sensor.
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