研究目的
研究射频与直流磁控溅射法制备Sb2Te3薄膜的合成与表征随沉积压力的变化规律，及其在提升CdTe基太阳能电池效率方面的应用。
研究成果
研究表明，采用射频和直流溅射法生长的Sb2Te3薄膜能显著提升碲化镉基太阳能电池的效率。研究发现射频溅射薄膜的最佳沉积压强为10毫托，此时电池效率达到8.01%。这些薄膜展现出低电阻率、载流子收集与传输性能改善等理想特性。
研究不足
本研究仅限于Sb2Te3薄膜的合成与表征及其在碲化镉基太阳能电池中的应用。未探究其他沉积参数的影响及太阳能电池的长期稳定性。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用射频（RF）和直流（DC）溅射技术在5-15毫托的沉积压力下合成Sb2Te3薄膜，并对薄膜的结构、形貌和电学特性进行表征。
2：样品选择与数据来源：
以钠钙玻璃（SLG）为衬底进行薄膜沉积，通过X射线衍射仪、能谱仪（EDS）、扫描电子显微镜（SEM）及电阻率测量分析薄膜成分与性能。
3：实验设备与材料清单：
使用直径75.3毫米的Sb2Te3靶材进行溅射，主要设备包括布鲁克D8型X射线系统、日本电子JSM-6701显微镜及四探针电阻率测量装置。
4：3毫米的Sb2Te3靶材进行溅射，主要设备包括布鲁克D8型X射线系统、日本电子JSM-6701显微镜及四探针电阻率测量装置。 实验流程与操作规范：
4. 实验流程与操作规范：沉积前对衬底进行清洗预处理，溅射过程保持恒定功率60瓦及衬底温度200°C，通过台阶仪测量薄膜厚度与粗糙度。
5：数据分析方法：
通过XRD测定晶体结构、EDS分析成分、SEM观察形貌、电阻率测量评估电学性能，太阳能电池性能通过电流-电压（I-V）曲线和外量子效率（EQE）测试评价。
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JEOL JSM-6701 model microscope
JSM-6701
JEOL
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Sb2Te3 target
75.3 mm in diameter
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