研究目的
研究通过凝胶液滴渗透进行阻尼对MEMS扫描镜可用带宽提升的影响。
研究成果
介电凝胶液滴的选择性渗透进入MEMS扫描镜显著降低了品质因数并增加了可用带宽。该方法还减少了扫描轴之间的耦合，提高了光束转向精度。该方案在仅轻微降低最大机械倾斜角的情况下保持了性能，适用于需要宽机械带宽的应用场景。
研究不足
该研究聚焦于准静态MEMS扫描镜及凝胶液滴阻尼的特定方法，未探讨其对其他类型MEMS器件或阻尼方法的适用性。
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[IEEE 2018国际光学MEMS与纳米光子学会议(OMN) - 洛桑(2018.7.29-2018.8.2)] 2018年国际光学MEMS与纳米光子学会议(OMN) - MEMS扫描镜的选择性渗透阻尼技术
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[IEEE 2018国际光学MEMS与纳米光子学会议(OMN) - 洛桑(2018.7.29-2018.8.2)] 2018年国际光学MEMS与纳米光子学会议(OMN) - MEMS扫描镜的选择性渗透阻尼技术
DOI：10.1109/omn.2018.8454622
出版年份：2018
更新时间：2025-09-23 15:21:01
摘要：
准静态MEMS扫描镜用于任意轨迹的光束偏转。其必须根据所需速度提供宽泛的机械带宽。本研究描述了一种通过凝胶液滴被动阻尼MEMS镜的方法，可有效提升可用带宽。该方法通过向镜体结构注入介电凝胶实现，并提出了相应的渗透工艺。研究考察了最大倾角、频率响应等静态与动态特性，同时探讨了镜面双轴耦合等寄生效应的抑制方法。
作者：
Georg Widholz，Stefan Richter，Robert Brunner
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