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电子束蒸发ZnSe薄膜退火温度依赖性的光学特性研究

DOI:10.1016/j.tsf.2018.11.013 期刊:Thin Solid Films 出版年份:2018 更新时间:2025-09-23 15:21:21
摘要: 本研究致力于探究采用电子束蒸发技术沉积、并在氮气环境中经不同温度退火的硒化锌(ZnSe)薄膜的光学特性。X射线衍射结构分析证实所得ZnSe薄膜具有立方闪锌矿结构,且沿(111)晶面呈现择优取向。基于Swanepoel包络法,通过室温下300-1500纳米波段的透射光谱,计算了吸收系数、消光系数、折射率及光学带隙等重要光学参数。随着退火温度升高,光学带隙从2.52 eV增至2.65 eV,但薄膜厚度与折射率均呈下降趋势。此外,还运用Wemple-DiDomenico单振子模型研究了折射率与能量的色散参数。
作者: Kai Ou,Shenwei Wang,Liyuan Bai,Yu Wang,Kexin Zhang,Lixin Yi
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研究概述 实验方案 设备清单

研究电子束蒸发制备的ZnSe薄膜的退火温度依赖光学特性。

研究得出结论,退火温度显著影响ZnSe薄膜的光学特性,包括折射率、厚度和光学带隙。该发现对光电子学应用具有积极意义。

该研究重点关注退火温度对光学性能的影响,但沉积速率和基底类型等其他因素也可能影响结果。

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