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塑料衬底上有机薄膜晶体管阵列用低温固化栅极绝缘层的均匀绝缘特性

DOI:10.1109/LED.2018.2880320 期刊:IEEE Electron Device Letters 出版年份:2018 更新时间:2025-09-10 09:29:36
摘要: 在塑料基板上实现高分辨率显示需要确保制造过程中(包括栅极绝缘层沉积)的尺寸稳定性。研究提出了一种评估平台,用于在实际应用于有机薄膜晶体管(OTFT)阵列前验证有机介电材料的均匀绝缘性能。该测试方法可确认低温固化介电材料的适用性及制造过程中的耐化学性。实验采用的交联聚羟基酰亚胺(PHI)可在130°C低温固化,在高达4 MV/cm的电场中大面积保持稳定绝缘特性且未出现突发击穿。以噻吩-噻唑共聚物半导体作为有源层并通过喷墨打印制备,在全流程中将基板温度控制在130°C以下,最终成功展示了基于聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)基板的4.8英寸电泳显示面板,其分辨率达98 dpi。
作者: Joo-Young Kim,Byonggwon Song,Jungwoo Kim,Bonwon Koo,Hyoek Kim,Myung-Sup Jung,Bang-Lin Lee,Jeong-Il Park,Jang-Joo Kim
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研究概述 实验方案 设备清单

研究塑料衬底上有机薄膜晶体管阵列用低温固化栅极绝缘层的均匀绝缘性能。

在130°C低温下固化的交联PHI材料在完成制备工艺后展现出优异的大面积绝缘性能?;谡庖怀晒?,我们成功在PEN基板上以130°C低温制备了喷墨打印OTFT阵列,并演示了一款具有98 dpi高分辨率的4.8英寸EPD显示屏。

在PEN衬底上制备的OTFT阵列迁移率较低,可能归因于低温沉积的SiO2介电层具有较高的表面粗糙度。

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