研究目的
研究基底温度对采用自制气动喷雾热解系统沉积的氧化钴(Co3O4)薄膜结构、电学及光学性能的影响。
研究成果
该研究成功证明了衬底温度对Co3O4薄膜结构、光学及电学性能的显著影响。较高温度下沉积的薄膜表现出更优的光学透过率和更高的带隙能量，使其适用于光伏和气体传感领域。
研究不足
该研究仅限于探究250至450°C范围内衬底温度对Co3O4薄膜性能的影响。潜在的优化方向包括研究其他沉积参数及其对薄膜性能的影响。
1：实验设计与方法选择：
采用自制气动喷雾热解系统，以氯化钴（CoCl2）水溶液为前驱体，在250至450°C的基底温度范围内沉积氧化钴薄膜。
2：样品选择与数据来源：
使用清洗后的玻璃基底进行沉积，通过XRD、紫外-可见光谱、EDS、SEM和四探针法对薄膜进行表征。
3：实验设备与材料清单：
自制喷雾热解系统、氯化钴盐、玻璃基底、XRD（布鲁克D8 ADVANCE）、紫外-可见分光光度计（JASCO V-770）、SEM（泰思肯VEGA3）、四探针仪（吉时利2400源表）。
4：0）、SEM（泰思肯VEGA3）、四探针仪（吉时利2400源表）。 实验步骤与操作流程：
4. 实验步骤与操作流程：将溶液喷射到加热的基底上，随后对沉积薄膜进行表征。
5：数据分析方法：
通过XRD数据分析结构特性，UV-Vis数据解析光学特性，四探针测量评估电导率。
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获取完整内容-
X-ray diffractometer
D8 ADVANCE
BRUKER
Analyzing the structural and crystalline properties of the films
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UV-Vis spectrophotometer
V-770
JASCO
Recording the optical transmission of the thin films
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SourceMeter
2400
KEITHLEY
Measuring the electrical conductivity of the films
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Scanning electron microscope
VEGA3
TESCAN
Studying the morphology of the samples
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