研究目的
研究通过表面织构化与薄型多层涂层的结合来增强聚光太阳能接收器的光谱吸收特性。
研究成果
研究表明,微结构化能显著提升多层涂层的太阳吸收率,从而增强光热转换效率。这种纹理化吸热体具有良好的热稳定性,特别适用于中温运行的聚光太阳能发电站。
研究不足
该制造方法中的双光束光刻部分不太适合大规模生产。此外,光学建模未考虑涂层表面的粗糙度或缺陷。
1:实验设计与方法选择:
本研究采用C法(Chandezon法)对光栅轮廓进行理论优化,并结合光刻光栅制备与吸收层沉积工艺。
2:样品选择与数据来源:
使用Inconel 625基材制备光刻胶光栅。
3:实验设备与材料清单:
包括用于干涉光刻的He-Cd激光器、光刻胶S1805、显影液MF319,以及用于层沉积的PVD和PECVD技术。
4:显影液MF319,以及用于层沉积的PVD和PECVD技术。 实验流程与操作步骤:
4. 实验流程与操作步骤:通过双光束干涉光刻制备光栅,随后沉积TiAlN多层涂层。
5:数据分析方法:
采用分光光度法评估光学性能,通过退火测试热稳定性。
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