研究目的
研究一种中波红外InAs/InAsSb II型应变层超晶格(T2SLS)单极势垒红外探测器的性能,其截止波长为5.4微米,重点关注其相比InSb具有更高工作温度的特性。
研究成果
InAs/InAsSb T2SLS势垒红外探测器焦平面阵列的工作温度显著高于InSb,具有优异的均匀性和性能指标。这归因于吸收材料的肖克利-里德-霍尔少数载流子寿命更长,以及抑制暗电流的单极器件架构。
研究不足
该研究仅限于在特定条件(300K背景、f/2孔径)下对InAs/InAsSb T2SLS势垒红外探测器的性能进行评估,未探究其全部潜在应用场景或环境适应性。
1:实验设计与方法选择:
本研究采用InAs/InAsSb T2SL吸收层和AlAsSb电子单极势垒设计并制备nBn器件,探测器结构通过分子束外延技术在GaSb衬底上生长。
2:样品选择与数据来源:
将探测器晶圆加工成离散探测器和焦平面阵列(FPA)进行表征。
3:实验设备与材料清单:
使用分子束外延技术生长,干法刻蚀工艺定义像素,以及与读出集成电路(ROIC)的混合集成。
4:实验流程与操作步骤:
在300K背景光照和f/2孔径条件下对FPA进行表征,测量噪声等效温差(NEDT)、量子效率(QE)和比探测率(D*)。
5:数据分析方法:
包括暗电流密度温度依赖性的阿伦尼乌斯图分析,以及带隙温度依赖性的Varshni公式拟合。
独家科研数据包,助您复现前沿成果,加速创新突破
获取完整内容