修车大队一品楼qm论坛51一品茶楼论坛,栖凤楼品茶全国楼凤app软件 ,栖凤阁全国论坛入口,广州百花丛bhc论坛杭州百花坊妃子阁

采用0.35微米CMOS工艺制造的面积达9平方毫米的硅光电倍增管

DOI：10.1109/JEDS.2019.2893802 期刊：IEEE Journal of the Electron Devices Society 出版年份：2019 更新时间：2025-09-23 07:42:20
摘要： 采用标准互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺制造的硅光电倍增管，是现代弱光子通量传感器应用的基础。这类器件实际上能将基于晶体管的电子元件集成于传感器内部，并提供智能化的读出策略。本文研究了0.35微米CMOS工艺在大面积器件上的可扩展性，报道了总面积分别为1平方毫米、4平方毫米和9平方毫米的硅光电倍增管的设计与特性。串扰、420纳米波长下的光子探测效率、2.5伏过压增益以及击穿电压温度系数均与传感器总面积无关，其数值分别为10%、35%、2.5×10^6和35毫伏/开尔文。暗计数率随器件总面积按180千赫兹/平方毫米的比例增长。总输出电容、单光子信号衰减时间以及单光子时间分辨率则与器件面积相关：1平方毫米、4平方毫米和9平方毫米硅光电倍增管分别获得66.9皮法、270.2皮法和554.0皮法的电容值；(27.1±0.1)纳秒、(50.8±0.1)纳秒和(78.2±0.1)纳秒的衰减时间；以及(77.97±0.51)皮秒、(201.67±0.98)皮秒和(282.28±0.86)皮秒的单光子时间分辨率。
作者： X. Liang，N. D’Ascenzo，W. Brockherde，S. Dreiner，A. Schmidt，Q. Xie
AI智能分析
纠错
研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

研究0.35微米CMOS工艺在大面积硅光电倍增管（SiPM）中检测弱光子通量的可扩展性。

研究成果

面积达9平方毫米的CMOS硅光电倍增管（SiPM）展现出与定制技术SiPM相媲美的性能，其暗计数率、串扰、光子探测效率、增益及击穿电压温度系数等参数均与面积无关。输出电容、衰减时间和单光子时间分辨率虽随面积变化，但仍适用于低光子通量探测。0.35微米工艺在集成电子开发方面表现出稳定性和成熟度。

研究不足

该研究仅限于0.35微米CMOS工艺；未探索扩展至其他工艺节点或超过9平方毫米的更大面积。输出电容随面积增大而增加，影响信号质量，且暗计数率的变化可能表明工艺不均匀性。

SCI高频之选
查看全部>
  • AQ6370D
    AQ6370D
    463

    型号：AQ6370D

    厂家：Yokogawa

    智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。
    获取实验方案
  • ZEISS EVO Family

    型号：ZEISS EVO Family

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能?？榛璧缱酉晕⒕?，适用于材料科学、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。
    获取实验方案
  • Crossbeam Family

    型号：Crossbeam Family350/550

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。
    获取实验方案
  • Axio Observer

    型号：Axio Observer

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。
    获取实验方案
  • ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex

    型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。
    获取实验方案
  • ZEISS Sigma 300 with RISE

    型号：ZEISS Sigma 300 with RISE

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。
    获取实验方案
立即咨询

加载中....

论文纠错

您正在对论文“采用0.35微米CMOS工艺制造的面积达9平方毫米的硅光电倍增管”进行纠错

纠错内容

联系方式（选填）

设备询价

称呼

电话

+86

单位名称

用途

期望交货周期

产品预约

称呼

电话

+86

单位名称

用途

期望交货周期