研究目的
利用近场扫描微波显微镜对双极碲烯场效应晶体管中载流子类型及其相关导电性的空间变化进行纳米级空间分辨率的成像与研究。
研究成果
研究表明,近场扫描微波显微镜能以纳米级分辨率有效成像并研究双极碲烯场效应晶体管中载流子类型与导电性的空间变化。结果显示,整体导电性最低值源于p型与n型区域的共存,而非均匀中性状态,这凸显了理解局部电子特性对器件研发的重要性。
研究不足
该研究仅限于碲烯器件;对其他材料的适用性可能有所不同。器件封装限制了某些探测方法的使用。空间分辨率估计为<60纳米,可能无法捕捉所有纳米尺度的变化。器件中的迟滞现象需要谨慎的测量序列以确??芍馗葱浴?/p>
1:实验设计与方法选择:
本研究采用基于原子力显微镜(AFM)的近场扫描微波显微镜(SMM)对工作状态下的局域载流子类型和电导率进行成像。通过差分测量确定载流子类型。利用有限元建模(COMSOL 4.2)模拟针尖-样品导纳。
2:2)模拟针尖-样品导纳。
样品选择与数据来源:
2. 样品选择与数据来源:碲烯器件由溶液生长的碲烯薄膜制备于SiO2/Si衬底上。通过原子层沉积使用HfO2或Al2O3对器件进行封装。
3:实验设备与材料清单:
AFM/SMM系统(Keysight)、矢量网络分析仪、IQ混频器(Analog Devices)、COMSOL 4.2软件、碲烯晶体、SiO2衬底、HfO2或Al2O3封装材料。
4:2软件、碲烯晶体、SiO2衬底、HfO2或Al2O3封装材料。
实验步骤与操作流程:
4. 实验步骤与操作流程:将器件安装在AFM扫描器上并进行引线键合以实现电学测量。在多种背栅电压下以接触模式获取SMM图像。通过施加交流针尖偏压并采用锁相检测获得差分信号。
5:数据分析方法:
分析数据以生成局域载流子等效电压图。模拟验证微波信号对电导率的依赖性。
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