研究目的
研究氮化钛（TiN）纳米颗粒在宽带光电探测器器件结构中的应用，以提升其在可见光和近红外（NIR）波段的性能。
研究成果
该研究成功展示了氮化钛（TiN）纳米颗粒在宽带光电探测器中的应用，在可见光和近红外区域均表现出高光电响应度。器件性能归因于等离子体诱导的电荷分离和热电子产生。尽管目前存在局限性，但这项研究为等离激元材料在光电器件中的应用开辟了新途径。
研究不足
该设备的性能虽然前景可期，但尚未达到实际应用的标准基准。其具体探测率较低，限制了目前的实际使用。需要进一步研究以优化该设备，使其适用于商业应用。
1：实验设计与方法选择：
本研究通过反应磁控溅射法合成TiN纳米颗粒，并将其集成至光电探测器器件中。通过表征材料的光学与结构特性来理解其等离子体行为。
2：样品选择与数据来源：
TiN纳米颗粒沉积于图案化ITO镀膜玻璃基底上。采用X射线衍射仪、紫外-可见光谱仪、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜和场发射扫描电子显微镜进行样品表征。
3：实验设备与材料清单：
设备包括脉冲直流反应磁控溅射系统、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜和场发射扫描电子显微镜。材料包括钛靶材、氮气、氩气、氧气及铝丝。
4：实验流程与操作步骤：
器件制备依次包括TiN纳米颗粒沉积、TiO2层沉积及铝电极沉积。在光照条件下使用Keithley 6517B静电计进行光电特性表征。
5：数据分析方法：
根据I-V特性曲线计算光响应度与比探测率，并测定量子效率以评估器件性能。
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UV-Vis Spectrophotometer
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