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提高薄金属膜上热化学激光写入空间分辨率的技术与光学方法

DOI：10.1007/s11082-019-2111-6 期刊：Optical and Quantum Electronics 出版年份：2019 更新时间：2025-09-16 10:30:52
摘要： 本文研究了多种技术、效应和因素，这些因素有助于提高薄金属膜上热化学直接激光书写的空间分辨率。同时探讨了连续波绿光激光聚焦光束实验加工的若干特定条件。本研究的目标之一是寻找合适的金属及其厚度以实现全氧化加工模式。通过精确调节激光曝光量，发现该模式能显著提升激光书写的空间分辨率——这源于聚焦光斑峰值附近氧化膜的漂白效应。除金属膜激光加工技术的相关实验结果外，本文还探讨了若干缩小直接激光书写聚焦光斑尺寸的方法。
作者： Victor P. Korolkov，Andrey G. Sedukhin，Sergey L. Mikerin
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

通过研究各种技术、效应和因素来提高薄金属膜上热化学直接激光写入的空间分辨率，并寻找适合实施全氧化机制的金属及其厚度。

研究成果

直接激光写入诱导的金属薄膜穿氧化过程具有非线性特性，可使记录轨?？矶人跫踉?.5至3倍。研究发现采用锆薄膜并合理调节激光曝光参数能有效实现高空间分辨率。进一步缩小激光光斑尺寸并优化聚焦系统可提升分辨率。

研究不足

最佳状态下的强度容差相当狭窄，当光束功率略微降低时，就可能出现激光诱导周期性表面结构（LIPSS）。薄膜厚度和激光曝光参数的选择对于消除自诱导准周期结构至关重要。

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