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柔性印刷有机晶体管中的三维单片集成

DOI:10.1038/s41467-018-07904-5 期刊:Nature Communications 出版年份:2019 更新时间:2025-09-23 15:22:29
摘要: 薄膜晶体管的直接打印技术在普适化、轻量化的可穿戴电子应用领域具有巨大潜力。然而印刷集成电路的进展仍十分有限。本研究提出一种三维(3D)集成方法,既能像光刻驱动的摩尔定律那样实现印刷晶体管密度的规模化扩展,又可提升器件性能。为验证该方法的可行性,我们通过高良率、高均匀性且具全年稳定性的打印工艺,在塑料箔上实现了双栅有机晶体管的可扩展3D集成。此外,通过三个互补型晶体管的3D堆叠,我们提出了一种可编程3D逻辑阵列方案,为设计新兴应用必需的印刷柔性数字电路提供了新途径。本研究所展示的3D单片集成策略适用于碳纳米管、氧化物半导体和二维半导体材料等其他新兴可打印材料。
作者: Jimin Kwon,Yasunori Takeda,Rei Shiwaku,Shizuo Tokito,Kilwon Cho,Sungjune Jung
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研究概述 实验方案 设备清单

通过柔性印刷有机晶体管的三维单片集成,实现印刷晶体管密度的按比例缩放并提升器件性能。

三维单片集成策略成功提升了印刷晶体管的密度与性能,实现了高良率、均匀性和稳定性。该技术支持柔性数字电路的可扩展制造,在可穿戴电子和物联网领域具有应用潜力。未来工作可通过优化材料与工艺实现更高集成度与可靠性提升。

打印分辨率限制在10-100微米范围内,阻碍了进一步微型化。在高热应力(150°C)下会出现性能退化,长期存储显示部分参数偏移。接触电阻问题(尤其是n型晶体管中)影响迁移率提取。

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